سنسورهای میکروالکترومکانیکی فشار به دلیل سهولت ساخت، هزینه پایین، روش اندازه گیری ساده، محدوده گسترده فشار مورد اندازه گیری و دقت اندازه گیری بالا محبوبیت بسیاری دارند. در این پژوهش، رفتار مکانیکی یک میکروسنسور فشار پیزورزیستیوی به روش المان محدود شبیه سازی شده است. اعمال فشار به مرکز دیافراگم سبب ایجاد تنش های طولی و عرضی در پیزورزیستیوها می شود و تنش های ایجادشده در پیزورزیستیوها باعث تغییر م...

یکی از انواع میکروسنسورهایی که در صنایع مختلف زیاد استفاده می شود میکروسنسور فشار می باشد . در میکروسنسورهای فشار از روشهای مختلفی برای اندازه گیری فشار استفاده می شود که یکی از این روشها استفاده از خاصیت پیزوالکتریک می باشد که در برخی از مواد مشاهده می شود . سنسور فشار میکروالکترو مکانیکی سیستمی یکپارچه می باشد که برای اندازه گیری فشار از تغییر شکل دیافراگم سیلیکونی بهره می برد . تغییر شکل ...

سنسورهای میکروالکترومکانیکی فشار به‌دلیل سهولت ساخت، هزینة‌ پایین، روش اندازه‌گیری ساده، محدودة گستردة فشار مورد اندازه‌گیری و دقت اندازه‌گیری بالا محبوبیت بسیاری دارند. در این پژوهش، رفتار مکانیکی یک میکروسنسور فشار پیزورزیستیوی به روش المان محدود شبیه‌سازی شده است. اعمال فشار به مرکز دیافراگم سبب ایجاد تنش‌های طولی و عرضی در پیزورزیستیوها می‌شود و تنش‌های ایجادشده در پیزورزیستیوها باعث تغییر ...

دو نوع از سنسور ها معمولاً برای اندازه گیری فشار در آزمایشات استفاده می شود: سنسورهای پیزوالکتریک و پیزورزیستیو . سنسورهای پیزوالکتریک رزولوشن زمانی بالاتری ارائه می کنند و استفاده از آنها ساده تر است. هر چند، محدوده های فشار و زمانی آنها کاملاً محدود است. درمقابل، سنسورهای پیزورزیستیو می توانند در طیف گسترده ای از فشارها (gpa100mpa-1) و زمان ها (بارگذاری استاتیک - ms ) استفاده شوند. با این حال، ...

در این مقاله با استفاده از ساختارهای بلور فوتونی دو بعدی، یک میکروسنسور جابه‌جایی طراحی کردیم. این ساختار شامل یک شش‌ضلعی است که در هر ضلع آن 7 حفره قرار گرفته است. جنس حفره‌ها هواست که در یک زمینۀ سیلیکونی قرار داده شده است. حفره‌ها در یک آرایش مثلثی چیده شده‌اند. در این میکروسنسور ابتدا با استفاده از شبیه‌سازی روش تفاضل محدود حوزۀ زمان مقادیر بهینه فرکانس کاری و ثابت شیکه بلور فوتونی محاسبه ش...

در این مقاله با استفاده از ساختارهای بلور فوتونی دو بعدی، یک میکروسنسور جابه جایی طراحی کردیم. این ساختار شامل یک شش ضلعی است که در هر ضلع آن 7 حفره قرار گرفته است. جنس حفره ها هواست که در یک زمینۀ سیلیکونی قرار داده شده است. حفره ها در یک آرایش مثلثی چیده شده اند. در این میکروسنسور ابتدا با استفاده از شبیه سازی روش تفاضل محدود حوزۀ زمان مقادیر بهینه فرکانس کاری و ثابت شیکه بلور فوتونی محاسبه ش...